為民族工業造"芯"
開山資(zī)訊|開山國(guó)內首台套離心式雙介質氣體(tǐ)組合機成功進入高端市場(chǎng)
發布(bù)日期:2022-12-20

   由開山(shān)上海通用機械研究院自主研發的離心式雙介質氣體組合壓縮機日前在江(jiāng)蘇(sū)某全(quán)球領先(xiān)的集成電路製(zhì)造(zào)企業順利完成調試並(bìng)投入使用,各項參數達到設計要求,獲得用戶好評。


   眾所周知,半(bàn)導(dǎo)體行業八大核心材料中,電子氣(qì)體是僅(jǐn)次於矽的主要原材料,其(qí)在半(bàn)導體晶圓製造材料價值中的占(zhàn)比(bǐ)為13.5%。電子氣體在電子產品製造工藝中廣泛應用於離子注入、刻蝕(shí)、氣相、沉積、摻雜等工藝,被稱為(wéi)集成電路、液晶麵板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”。電子半導體器(qì)件的性(xìng)能優劣與電子氣體的(de)質量息息相關,而(ér)高(gāo)純度/超高純度(dù)氮是電子氣體中極其重要的成員之一,其在(zài)惰性保護、載氣、特種氣體、管道吹掃(sǎo)排氣、稀(xī)釋、等離子注入等半導(dǎo)體生產工(gōng)藝環(huán)節中都是不可或缺的原料氣和工藝氣。而離心式雙介質氣體組合壓縮(suō)機組則是高純(chún)氮生產(chǎn)工藝中的核心(xīn)裝備。長期以來其該類型壓縮機市場一直由美國企(qǐ)業所壟斷。


   本次成(chéng)功投運(yùn)的機組是開山製造、完全自主知識產權的國(guó)產首(shǒu)台套該類型壓(yā)縮(suō)機,其使用於一世界500強國際知名氣體(tǐ)公司的製氮係統之中,這(zhè)也是這家企業首次與中國壓縮機廠商進行(háng)合作。本次投運成功,極大(dà)的提升了該公司高純氮製備係統的市場競爭力。這是雙方四年共同(tóng)努力的結果。


   與此同時,兩套運用於國(guó)產(chǎn)高純氮製(zhì)備(bèi)係統的該類型(xíng)壓縮機調試工作也已收尾,各項參數達到設計需(xū)求,甚至部分參數超越了設計需求.

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   過去二十(shí)年裏,開山持續在核心技術上進行大(dà)強度投入,逐步在螺杆、透平、往複等各類型壓縮機、膨脹機、真空泵(bèng)等諸多領域構建起一定技術優(yōu)勢。在目前“國產化”需求日益高漲的背景之下,這種技術(shù)優勢使得樱花草视频在线观看高清免费6的中國用戶不(bú)僅(jǐn)不會因“國產化”去犧牲所需設備的品質,反而“國產化”後獲得了更可靠的產品質量和更低的能源消耗。而對於樱花草视频在线观看高清免费6的國際用戶則是發現以開山為代表的中國裝(zhuāng)備為他們帶來了更大的(de)獲益。本次離心式雙介質氣體組合壓縮機的投(tóu)運成功隻是(shì)前(qián)述文字一個小小的例證吧。

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