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開山(shān)資訊|開山國內首台套離心式雙介質氣體組合機成功進入高(gāo)端市場
發布日期:2022-12-20

   由(yóu)開(kāi)山上海通用機械研究院自主研發的(de)離(lí)心式雙介(jiè)質氣體組合(hé)壓縮(suō)機日前在江蘇某全球領先的集成電路製造企業順利(lì)完成調(diào)試並投入使(shǐ)用,各項參數達到設計要求,獲得用戶好評(píng)。


   眾(zhòng)所周知,半導體行業八大核心材料中,電子氣體是僅次於矽的主要原材(cái)料,其在半(bàn)導體晶圓製造材料(liào)價值中的占比為13.5%。電子氣體在電子(zǐ)產品製造工藝中廣泛應用於離子注入(rù)、刻(kè)蝕、氣相(xiàng)、沉積(jī)、摻雜等工藝,被稱為集(jí)成電路、液晶麵板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”。電子半導體(tǐ)器件的性能優劣與電子氣(qì)體的質量息息相關,而高純度/超高(gāo)純度氮是電子氣體中(zhōng)極其重要的(de)成員之一,其在惰性(xìng)保護(hù)、載氣、特種氣體、管道吹掃排氣、稀釋、等離子注入等半導(dǎo)體生產工藝環節中都是不可或缺的原料氣和工藝氣。而離心式雙介質氣體組合壓(yā)縮機組則是高純氮生產工藝中的核(hé)心裝備。長期以(yǐ)來其該(gāi)類型壓(yā)縮機市場一直由美國企業所壟斷。


   本次成功投運的機(jī)組是開(kāi)山製造、完全自主知識產權的國產首台套該類(lèi)型壓縮機,其使用(yòng)於一世界500強國際知名氣體公司的製氮係統之(zhī)中,這也是這家企業(yè)首次與中國壓縮機廠商進行合作。本次投運成功,極大(dà)的提升了該公司高純氮製備(bèi)係統的市場(chǎng)競爭力。這是雙(shuāng)方四年共同努力的結果。


   與此同時,兩(liǎng)套(tào)運用於國產高純氮製備係統的該類型壓縮機調試工作也已收尾,各項參數達到(dào)設計需求,甚至部分參數超越了設計需求.

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   過去二十年(nián)裏,開山持續在核心技術上進行大強度投入,逐步在螺杆、透平、往複等各類型壓縮機、膨脹機、真(zhēn)空泵等(děng)諸多領域構建起一定技術優勢。在目前“國(guó)產化”需求日益高漲的背景之下,這種技術優勢使得樱花草视频在线观看高清免费6的中國用戶不僅不會(huì)因“國產化”去犧牲所需設備的品質,反而“國產化(huà)”後獲得了(le)更可靠的產品質量(liàng)和更低的能源消耗。而對於樱花草视频在线观看高清免费6的(de)國際用戶則是發(fā)現以開山為代表的中(zhōng)國裝(zhuāng)備為(wéi)他們帶來了更大的獲益。本次離心式(shì)雙介質氣體組合壓縮機的投運成功隻是前述文字一(yī)個小小的例證吧。

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