由開山上海通用機械(xiè)研究院自主研發的離心式雙介(jiè)質氣體組合壓縮機日前(qián)在江蘇某全球領先的集成電路製造企業順利完成調試並(bìng)投入使用,各項參數達到設計(jì)要(yào)求,獲得用戶好評。
眾所周知,半導體(tǐ)行業八大核心材料中,電子氣體是僅次於矽的主要原材料,其在半導體晶(jīng)圓製造材料價值中的占比為13.5%。電子氣體在電子產(chǎn)品製造工藝中廣泛應用於離子注入、刻蝕、氣相、沉積、摻雜等工藝,被(bèi)稱為集成電路、液晶麵板、LED及光伏等材料(liào)的“糧食”和“源”。電子(zǐ)半導體器件的性能優(yōu)劣與電子氣體的質量息息相關,而高純度/超高純度氮是電子(zǐ)氣體中(zhōng)極其重要的成員之一,其(qí)在惰性保護、載氣、特種氣(qì)體、管道吹掃排氣、稀釋、等離子注入等半(bàn)導體生產工藝環節中都是不可(kě)或(huò)缺的原料氣和工藝氣(qì)。而離心式雙介質氣體組合壓縮機組則是高純氮生產工藝中的核心(xīn)裝備。長期以來(lái)其(qí)該類型壓(yā)縮機市場一直由美國企業所壟斷。
本次成功(gōng)投運的機組是開山製造、完全自主知識產權的國產首台套該類型壓縮機,其使用於一世界500強國際知名氣體公司的製氮係統(tǒng)之中,這也(yě)是這家企業首次與中國壓縮機廠商進行合作。本次投運成功,極大的提升了該公司高純氮製(zhì)備係統(tǒng)的市場競(jìng)爭力。這是雙方(fāng)四年共同努力的結果。
與此同(tóng)時,兩套運用於國產高純氮製備係(xì)統的該類型壓縮機調試工作也已收尾,各項參數達到設計需求,甚(shèn)至部分參數超越(yuè)了設計需求.
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過去二十年裏,開山(shān)持續在(zài)核心技術上進行大強度投入,逐步在螺杆、透平、往複等各類型壓縮(suō)機、膨脹機、真空泵等諸多(duō)領域構建起一定技術優勢。在目前“國產化”需求日益高漲的背景之下(xià),這種技術優勢(shì)使得樱花草视频在线观看高清免费6的中國用戶不(bú)僅不會因“國產化”去犧(xī)牲所(suǒ)需設備的品質,反而“國產(chǎn)化”後獲得了更可靠的產品質量和更低的能源消耗。而對於樱花草视频在线观看高清免费6的國際用戶則是發(fā)現以開山為代表的中國裝備為他們帶(dài)來了更大的獲益。本次離心式雙介質氣體組合壓縮機的投運成功隻是前(qián)述(shù)文字一個小小的例證吧。